เรือเวเฟอร์ซิลิคอน

Semicorex สามารถปรับแต่งโครงสร้างเรือเวเฟอร์ซิลิคอน รวมถึงรูปร่างของร่องของร่อง ความยาวฟันของร่อง รูปร่าง มุมเอียง และความสามารถในการรับน้ำหนักของเวเฟอร์ทั้งหมด และสามารถผลิตได้ตามความต้องการของลูกค้า เรือซิลิกอนอุณหภูมิสูงสามารถลดความเสียหายจากการสัมผัสกับเวเฟอร์ซิลิคอนได้อย่างมีประสิทธิภาพ และปรับปรุงผลผลิตของกระบวนการ การออกแบบ "หอคอยกันลื่น" ที่มีอุณหภูมิสูงรองรับเวเฟอร์เฉพาะที่ปลายฟันที่รองรับเท่านั้น เมื่อเทียบกับซิลิคอนคาร์ไบด์ซิลิคอนมีความแข็งค่อนข้างต่ำ ซึ่งช่วยลดความเสียหายทางกลต่อเวเฟอร์ จึงช่วยเพิ่มอัตราการส่งผ่านของโครงตาข่ายและลดต้นทุนการผลิตได้อย่างมีประสิทธิภาพ เรือซิลิกอนหลอมประกอบด้วยหลายส่วน: ฟัน แผ่นฐาน และแผ่นด้านบน ซึ่งถูกหลอมเข้าด้วยกัน ซึ่งจะช่วยลดต้นทุนการผลิต ในกรณีที่เกิดความเสียหายบางส่วน สามารถเปลี่ยนชิ้นส่วนที่เสียหายได้โดยไม่ต้องเปลี่ยนเรือซิลิคอนทั้งหมด ซึ่งช่วยลดต้นทุนการเป็นเจ้าของระหว่างการใช้งานได้อย่างมาก นอกจากนี้ เรือซิลิคอนยังมีขีดจำกัดขนาดใหญ่สำหรับการสะสมโพลีซิลิคอน ซึ่งสามารถลดความถี่ของอุปกรณ์ PM และปรับปรุงกำลังการผลิตได้อย่างมีประสิทธิภาพ

Semicorex Silicon Wafer Boat คือตัวพาเวเฟอร์ที่เป็นนวัตกรรมใหม่ที่ออกแบบมาเพื่อวัตถุประสงค์เฉพาะ สร้างขึ้นโดยเฉพาะสำหรับการประมวลผลเตาเผาอุณหภูมิสูงที่ใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ รวมถึงกระบวนการออกซิเดชันและรีดักชันที่อุณหภูมิระหว่าง 1200 ถึง 1250 °C ด้วยคุณประโยชน์ด้านประสิทธิภาพที่ไม่มีในวัสดุซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) เรือซิลิคอนเวเฟอร์มอบข้อได้เปรียบที่เกี่ยวข้องกับกระบวนการที่เข้มงวดในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ต้องการ ประการแรก ความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษของวัสดุซิลิกอนมีความสำคัญ อันที่จริงแล้ววัสดุซิลิกอนมีระดับความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษมากกว่า 9N (99.9999999%) จึงมั่นใจได้ว่าไม่มีโลหะหรือสิ่งเจือปนแปลกปลอมที่จะปนเปื้อนในกระบวนการผลิตเวเฟอร์ นี่เป็นสิ่งสำคัญสำหรับการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ระดับแนวหน้า ซึ่งความน่าเชื่อถือด้านประสิทธิภาพและผลผลิตได้รับผลกระทบอย่างมากจากการปนเปื้อน เรือซิลิคอนเวเฟอร์มอบสภาพแวดล้อมที่สะอาดเป็นพิเศษพร้อมความบริสุทธิ์ในระดับสูง เหมาะสำหรับข้อกำหนดทางอุตสาหกรรมขั้นสูงสุดสำหรับการจัดการเวเฟอร์ที่ต้องสัมผัสกับอุณหภูมิที่สูงมากสำหรับกระบวนการออกซิเดชั่นและการรีดักชั่น

ประโยชน์อีกอย่างหนึ่งของวัสดุซิลิกอนคือคุณสมบัติความแข็งที่ต่ำกว่าเมื่อเปรียบเทียบกับวัสดุ SiC แท่งหรือเรือ SiC ขึ้นชื่อในเรื่องความแข็งและความแข็งแกร่ง แต่คุณสมบัติเดียวกันนี้อาจทำให้เกิดปัญหาระหว่างการประมวลผลเวเฟอร์ได้ ที่อุณหภูมิสูง เวเฟอร์จะเคลื่อนที่ระดับไมโคร พวกมันจะกระเด้งเล็กน้อย ขยับเล็กน้อย และโค้งงอขณะอยู่ในเรือ วัสดุ SiC ที่แข็งกว่าอาจมีความเสี่ยงสูงในการสร้างอนุภาคหรือรอยขีดข่วนที่ด้านหลังของแผ่นเวเฟอร์ เนื่องจากคุณสมบัติของแผ่นเวเฟอร์และเรือมีปฏิกิริยาโต้ตอบกันภายใต้สภาวะการประมวลผลที่อุณหภูมิสูงเหล่านี้

เรือเวเฟอร์ซิลิคอนบรรเทาความกังวลนี้โดยการใช้ประโยชน์จากลักษณะที่ค่อนข้างอ่อนของซิลิคอนเมื่อเทียบกับ SiC ความแข็งที่ลดลงช่วยให้เกิดแรงเสียดทานและความเค้นเชิงกลน้อยลงเมื่อแผ่นเวเฟอร์สัมผัสกับเรือในระหว่างรอบความร้อน ผลก็คือ อนุภาคจะถูกสร้างขึ้นน้อยลง และความเสี่ยงที่จะเกิดรอยขีดข่วนด้านหลังลดลงจนเกือบเป็นศูนย์ นอกจากนี้ ด้วยการลดข้อบกพร่องที่พื้นผิวให้เหลือน้อยที่สุด เรือซิลิคอนเวเฟอร์จึงปรับปรุงคุณภาพโครงตาข่ายได้โดยตรง และเพิ่มอัตราคุณสมบัติโดยรวมของเวเฟอร์ที่ผ่านการประมวลผล สำหรับโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ที่ต้องการเพิ่มผลผลิตด้วยการควบคุมคุณภาพสูงสุด ประสิทธิภาพระดับนี้ทำให้เรือซิลิคอนเป็นตัวเลือกที่น่าสนใจ

ซิลิคอนมีเสถียรภาพที่ดีและมีความแข็งแรงทางกลที่อุณหภูมิสูง ช่วยให้เรือสามารถให้บริการได้อย่างน่าเชื่อถือในระหว่างรอบเตาเผาซ้ำๆ วัสดุต้านทานการบิดเบี้ยวในระหว่างรอบการให้ความร้อนและความเย็น ดังนั้น จึงรักษาตำแหน่งเวเฟอร์ที่แม่นยำและความทนทานต่อตำแหน่งแม้ในระหว่างรอบเตาเผาที่รวดเร็ว ความทนทานต่อความร้อนนี้ให้ผลลัพธ์ของกระบวนการที่เชื่อถือได้ ซึ่งสม่ำเสมอเพียงพอสำหรับการผลิตที่มีปริมาณมากโดยมีความแปรผันระหว่างการทำงานน้อยที่สุด เรือเวเฟอร์ซิลิคอนถูกสร้างขึ้นด้วยความแม่นยำมิติสูงเพื่อให้แน่ใจว่าการวางตำแหน่งและการวางเวเฟอร์สม่ำเสมอ เรือถูกประดิษฐ์ขึ้นโดยใช้เครื่องจักรและการขัดเงาขั้นสูงเพื่อสร้างพื้นผิวที่เรียบ รูปทรงที่ใกล้เคียงกัน และพิกัดความเผื่อที่แคบ