เรือฐานซิลิโคน

Semicorex Silicon Pedestal Boat คือตัวพาแผ่นเวเฟอร์ที่สะอาดเป็นพิเศษ ซึ่งได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมให้มีความบริสุทธิ์และแม่นยำสูง เพื่อรองรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่มีอุณหภูมิสูง เช่น ออกซิเดชัน การแพร่กระจาย และ LPCVD (การสะสมไอสารเคมีแรงดันต่ำ) ตัวพาเวเฟอร์นี้ทำจาก 9N (99.9999999%)ซิลิคอนที่มีความบริสุทธิ์สูงเพื่อให้มั่นใจถึงความสะอาดที่ยอดเยี่ยม ค่าสัมประสิทธิ์ความร้อนของความเสถียรในการขยายตัว และความแม่นยำเชิงกลสำหรับการรองรับแผ่นเวเฟอร์ และการควบคุมกระบวนการที่สม่ำเสมอในสภาพแวดล้อมที่สะอาดเป็นพิเศษ

เนื่องจากรูปทรงของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ยังคงหดตัวลง ความต้องการส่วนประกอบการจัดการเวเฟอร์ที่สะอาดเป็นพิเศษและเข้ากันได้กับความร้อนจึงไม่เคยเป็นที่ต้องการเช่นนี้ เรือฐานซิลิคอนตอบสนองความต้องการเหล่านี้ด้วยความแม่นยำของมิติสูงและความบริสุทธิ์ที่ไม่มีใครเทียบได้เพื่อใช้ในระบบเตาเผาขั้นสูงที่ทำงานระหว่าง 1100°C ถึง 1250°C

โครงสร้างเรือซิลิคอนสามารถปรับแต่งให้ตรงตามความต้องการของลูกค้า รวมถึงรูปร่างของแท่งร่อง ความยาวฟันของร่อง รูปร่าง มุมเอียง และความสามารถในการโหลดเวเฟอร์ทั้งหมด เรือซิลิคอนอุณหภูมิสูงสามารถลดความเสียหายจากการสัมผัสกับเวเฟอร์ซิลิคอนได้อย่างมีประสิทธิภาพ ช่วยเพิ่มผลผลิตในกระบวนการ การออกแบบ "หอคอยกันลื่น" ที่มีอุณหภูมิสูงรองรับเวเฟอร์เฉพาะที่ปลายฟันที่รองรับเท่านั้น เมื่อเปรียบเทียบกับซิลิคอนคาร์ไบด์ ซิลิคอนมีความแข็งน้อยกว่า ช่วยลดความเสียหายทางกลต่อเวเฟอร์ จึงปรับปรุงคุณภาพแลตทิซและลดต้นทุนการผลิตได้อย่างมีประสิทธิภาพ

เรือฐานมีจำหน่ายที่monocrystalline หรือ polycrystalline ซิลิคอนเพื่อขจัดความเสี่ยงในการปนเปื้อนที่เกี่ยวข้องกับวัสดุที่ไม่ใช่ซิลิคอน แพลตฟอร์มนี้มีองค์ประกอบทางเคมีเช่นเดียวกับเวเฟอร์ที่ใช้งานอยู่ ซึ่งช่วยลดปฏิกิริยาที่ไม่พึงประสงค์หรือการแพร่กระจายของไอออนในระหว่างกระบวนการที่อุณหภูมิสูง ความสม่ำเสมอของวัสดุช่วยลดลักษณะทางกายภาพของอนุภาคและสิ่งเจือปนที่เป็นโลหะลงอย่างมาก เพื่อให้เวเฟอร์มีคุณภาพสม่ำเสมอและให้ผลผลิตอุปกรณ์สูงผ่านวงจรการผลิตซ้ำๆ

เรือฐาน Semicorex Silicon มีช่องเวเฟอร์ที่ออกแบบมาอย่างแม่นยำ รวมกับโครงสร้างรองรับแนวตั้ง ทำให้มั่นใจได้ว่าเวเฟอร์จะอยู่ในแนวเดียวกันและเว้นระยะห่างระหว่างวงจรการทำความร้อน ความเสถียรของมิติมีความโดดเด่น ทำให้มั่นใจได้ว่าเรือฐานจะไม่บิดเบี้ยว โค้งงอ หรือเคลื่อนตัวในอุณหภูมิที่สูงมาก ทำให้มีอุณหภูมิและการกระจายก๊าซที่ดีในแต่ละแผ่นเวเฟอร์ ความเสถียรของมิตินี้มีผลเชิงบวกทันทีต่อความสม่ำเสมอของความหนาของฟิล์มในระหว่างการออกซิเดชันและการแพร่กระจาย และช่วยลดจำนวนข้อบกพร่องและความสามารถในการทำซ้ำของกระบวนการได้ดีขึ้น

ประโยชน์หลักของเรือฐานซิลิโคนคือคุณสมบัติทางกลและทางความร้อนที่เหมาะสมที่สุด ความแข็งของซิลิคอนเมื่อเปรียบเทียบกับ SiC หรือควอตซ์จะช่วยลดการเกิดรอยขีดข่วนขนาดเล็กและการสร้างอนุภาคเนื่องจากการสั่นสะเทือนหรือการเคลื่อนที่ของแผ่นเวเฟอร์ระหว่างการขยายตัวด้วยความร้อน นี่เป็นเรื่องจริงโดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับเวเฟอร์ที่ไวต่อด้านหลัง ซึ่งความสมบูรณ์ของพื้นผิวเวเฟอร์มีความสำคัญอย่างยิ่งต่อผลผลิตและประสิทธิภาพของอุปกรณ์

เรือแบบตั้งพื้นมีค่าการนำความร้อนที่ดีและมีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ ซึ่งให้คุณลักษณะการถ่ายเทความร้อน ในขณะที่ยังคงรักษารูปร่างและความสมบูรณ์ของโครงสร้างด้วยรอบการให้ความร้อนและความเย็นหลายรอบ การออกแบบที่แข็งแกร่งยังช่วยให้มีอายุการใช้งานยาวนานโดยมีการเสียรูปน้อยที่สุดจากสภาวะเตาเผาที่รุนแรง

Semicorex มีการออกแบบที่กำหนดเองสำหรับการกำหนดค่าอุปกรณ์ที่หลากหลาย รวมถึงเส้นผ่านศูนย์กลางเวเฟอร์ จำนวนช่อง ความสูงของฐาน และการเปลี่ยนแปลงทางเรขาคณิต ผลิตภัณฑ์แต่ละชิ้นได้รับการตรวจสอบความบริสุทธิ์ วัดขนาด และทดสอบการนำความร้อน ทั้งหมดนี้เป็นไปตามมาตรฐานสูงสุดในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

เรือฐานซิลิคอนเข้ากันได้กับกระบวนการออกซิเดชันและการแพร่กระจาย เช่นเดียวกับ LPCVD และการอบอ่อนที่ต้องการความสม่ำเสมอของอุณหภูมิและการปนเปื้อนที่ไม่มีใครเทียบได้ เรือฐานซิลิคอนสามารถใช้งานร่วมกับส่วนประกอบเตาซิลิกอนอื่นๆ เช่น ท่อหัวฉีด ท่อซับ และตัวพาเวเฟอร์ ช่วยรักษาวัสดุและการจับคู่ความร้อนตลอดทั้งระบบการประมวลผล