แหวนโล่ซิลิโคน

Semicorex Silicon Shield Ring เป็นส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์ที่สำคัญในกระบวนการแกะสลัก หน้าที่หลักคือการล้อมรอบอิเล็กโทรดและป้องกันการรั่วไหลของพลาสมามากเกินไป ด้วยความบริสุทธิ์ของวัสดุเกิน 9N (99.9999999%) แหวนชีลด์สามารถทำได้ทั้งแบบผลึกเดี่ยวและหลายคริสตัลซิลิคอนช่วยให้มั่นใจได้ถึงการทำงานที่สะอาดเป็นพิเศษและความเข้ากันได้ที่เชื่อถือได้กับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง

การควบคุมพลาสมาที่แม่นยำในกระบวนการกัด CCP/ICP เป็นสิ่งจำเป็นสำหรับอัตราการกัดกรดที่สม่ำเสมอ และคุณภาพเวเฟอร์ที่มีประสิทธิภาพ การรั่วไหลของพลาสมาที่ไม่สามารถควบคุมได้นอกพื้นที่แกะสลักที่ต้องการอาจทำให้เกิดการกัดเซาะและการปนเปื้อนของพื้นผิว หรือสร้างความเสียหายให้กับส่วนประกอบภายในห้องเพาะเลี้ยง วงแหวนป้องกันซิลิคอนเป็นวิธีแก้ปัญหาง่ายๆ ที่มีประสิทธิภาพสำหรับปัญหานี้ ซึ่งสร้างขึ้นเพื่อสร้างเกราะป้องกันที่ขอบด้านนอกของอิเล็กโทรด กักไม่ให้พลาสมาแพร่กระจายออกไปนอกพื้นที่เป้าหมาย และจำกัดการแกะสลักไว้เฉพาะพื้นที่ที่ต้องการเท่านั้น วงแหวนป้องกันซิลิกอนยังทำหน้าที่เป็นอิเล็กโทรดด้านนอกเพื่อทำให้การกระจายตัวของพลาสมามีความเสถียร และช่วยให้พลังงานสม่ำเสมอมากขึ้นที่พื้นผิวเวเฟอร์

คุณสมบัติทางความร้อนและไฟฟ้าของซิลิคอนยังช่วยสนับสนุนประสิทธิภาพของ Etching Shield Ring อีกด้วย ความต้านทานต่ออุณหภูมิกระบวนการสูงทำให้โครงสร้างสมบูรณ์ในระหว่างการสัมผัสกับพลาสมาเป็นเวลานาน และค่าการนำไฟฟ้าช่วยให้ส่วนประกอบทำงานได้อย่างถูกต้องในฐานะองค์ประกอบในระบบอิเล็กโทรด แอปพลิเคชันเหล่านี้ร่วมกันปรับปรุงการจำกัดพลาสมาและปรับปรุงความสม่ำเสมอของพลังงาน ซึ่งช่วยให้สามารถทำซ้ำโปรไฟล์การกัดข้ามเวเฟอร์ได้

ความทนทานต่อกลไกเป็นคุณลักษณะเด่นอีกประการหนึ่งของแหวนโล่กัดกรดซิลิคอน ด้วยการผลิตให้มีพิกัดความเผื่อต่ำ จึงรับประกันตำแหน่งที่แม่นยำรอบๆ อิเล็กโทรด และรักษาระยะห่างและรูปทรงของห้องเพาะเลี้ยง ความแม่นยำทางกลนี้สร้างสภาวะกระบวนการที่ทำซ้ำได้เพื่อให้มีความแปรปรวนน้อยลงระหว่างการทำงานแต่ละครั้ง และช่วยให้สามารถผลิตเซมิคอนดักเตอร์ในปริมาณมากได้ ตัววัสดุมีความเข้ากันได้ดีเยี่ยมกับสภาพแวดล้อมแบบพลาสมา ดังนั้นการกัดเซาะโครงสร้างจึงทำให้มีอายุการใช้งานที่ยาวนานและมีเสถียรภาพในประสิทธิภาพของกระบวนการ

ความทนทานและความคุ้มทุนเป็นข้อดีที่มีคุณค่าอีกสองประการ ด้วยการป้องกันส่วนที่ไม่จำเป็นของห้องเพาะเลี้ยงจากพลาสมา วงแหวนป้องกันจะลดการสึกหรอของส่วนประกอบที่สำคัญอื่นๆ ซึ่งช่วยลดความพยายามในการบำรุงรักษาและเพิ่มเวลาทำงานโดยรวม อายุการใช้งานยาวนานและการเปลี่ยนบ่อยครั้งน้อยลงทำให้เป็นโซลูชันที่คุ้มค่าสำหรับโรงงานเซมิคอนดักเตอร์เพื่อเพิ่มผลผลิตและลดต้นทุนการดำเนินงาน

ที่ซิลิคอนแหวนโล่ยังสามารถปรับแต่งสำหรับการกำหนดค่าเครื่องมือแต่ละรายการและข้อกำหนดเฉพาะของกระบวนการได้ เนื่องจากมีหลายขนาดและรูปทรงเพื่อรองรับห้องกัดพลาสม่าที่แตกต่างกันจำนวนมากที่ผู้ผลิตทำขึ้น ในขณะที่ยังคงได้ขนาดที่พอดีที่สุด นอกจากนี้ การปรับสภาพพื้นผิวและการขัดเงายังสามารถนำมาใช้เพื่อลดการเกิดอนุภาคเพิ่มเติมเพื่อมาตรฐานการผลิตที่สะอาดเป็นพิเศษ