หัวฉีดซิลิกอน

Semicorex Silicon Injector เป็นส่วนประกอบที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ ออกแบบมาเพื่อการส่งก๊าซที่แม่นยำในระบบการสะสมไอสารเคมีแรงดันต่ำ (LPCVD) สำหรับการสะสมโพลีซิลิคอนและฟิล์มบาง สร้างจาก 9N (99.9999999%)ซิลิคอนที่มีความบริสุทธิ์สูงหัวฉีดแบบท่อละเอียดนี้ให้ความสะอาดที่เหนือกว่า เข้ากันได้กับสารเคมี และมีเสถียรภาพทางความร้อนในสภาวะกระบวนการที่รุนแรง

เนื่องจากการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ยังคงพัฒนาไปสู่ระดับการบูรณาการที่สูงขึ้นและการควบคุมการปนเปื้อนที่เข้มงวดมากขึ้น ส่วนประกอบการส่งก๊าซทุกชิ้นในห้องสะสมจะต้องได้มาตรฐานที่สูงขึ้นกว่าเดิม Semicorex Silicon Injector ได้รับการพัฒนาโดยเฉพาะสำหรับข้อกำหนดประเภทนี้ โดยส่งวัสดุที่เป็นก๊าซในลักษณะที่มั่นคงและสม่ำเสมอตลอดทั้งห้องปฏิกิริยา โดยไม่ทำให้เกิดการปนเปื้อนที่อาจส่งผลเสียต่อคุณภาพของฟิล์มหรือผลผลิตของแผ่นเวเฟอร์

หัวฉีดผลิตจากซิลิคอนโมโนคริสตัลไลน์หรือโพลีคริสตัลไลน์ขึ้นอยู่กับความต้องการของกระบวนการ และวัสดุได้รับการออกแบบให้มีโลหะเจือปน อนุภาค และไอออนิกต่ำ ซึ่งให้ความเข้ากันได้กับสภาวะ LPCVD ที่สะอาดเป็นพิเศษ ซึ่งแม้แต่การปนเปื้อนเพียงเล็กน้อยก็อาจทำให้เกิดข้อบกพร่องในฟิล์มหรือความล้มเหลวของอุปกรณ์ได้ การใช้ซิลิคอนเป็นวัสดุฐานยังช่วยลดความไม่ตรงกันของวัสดุระหว่างหัวฉีดและส่วนประกอบซิลิคอนของห้อง ซึ่งช่วยลดความเสี่ยงในการสร้างอนุภาคหรือปฏิกิริยาทางเคมีระหว่างการใช้งานและการทำงานที่อุณหภูมิสูงได้อย่างมาก

โครงสร้างท่อเฉพาะของหัวฉีดซิลิคอนช่วยให้สามารถควบคุมและกระจายก๊าซได้อย่างเท่าเทียมกันบนโหลดเวเฟอร์ที่สม่ำเสมอ ช่องเปิดที่ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมระดับไมโครและพื้นผิวด้านในเรียบทำให้มั่นใจได้ว่าอัตราการไหลที่ทำซ้ำได้พร้อมกับไดนามิกของก๊าซลามิเนตที่มีความสำคัญอย่างยิ่งต่อความหนาของฟิล์มที่สม่ำเสมอและอัตราการสะสมตัวในเตาเผาที่เสถียร ไม่ว่าจะเป็นไซเลน (SiH₄), ไดคลอโรไซเลน (SiH₂Cl₂) หรือก๊าซที่เกิดปฏิกิริยาอื่นๆ หัวฉีดให้ประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้และความแม่นยำที่จำเป็นสำหรับการเติบโตของฟิล์มโพลีซิลิคอนคุณภาพดี

เนื่องจากความเสถียรทางความร้อนที่ดีเยี่ยม Semicorex Silicon Injector จึงสามารถทนต่ออุณหภูมิได้สูงถึง 1250 °C และอาจควบคุมได้โดยไม่ต้องกลัวว่าจะเกิดการเสียรูป การแตกร้าว หรือการบิดงอในระหว่างรอบของ LPCVD ที่อุณหภูมิสูงหลายรอบ นอกจากนี้ ความต้านทานสูงต่อการเกิดออกซิเดชันและความเฉื่อยทางเคมียังให้การทำงานที่ยาวนานในขณะที่อยู่ในบรรยากาศออกซิไดซ์ ลดหรือกัดกร่อน ในขณะเดียวกันก็ลดการบำรุงรักษาและสร้างความเสถียรของกระบวนการ

หัวฉีดแต่ละตัวผลิตขึ้นโดยใช้เครื่องจักรซีเอ็นซีและการขัดเงาที่ล้ำสมัย เพื่อให้ได้ค่าความคลาดเคลื่อนมิติที่ต่ำกว่าไมครอนและการตกแต่งพื้นผิวที่เรียบเนียนเป็นพิเศษ พื้นผิวคุณภาพสูงช่วยลดความปั่นป่วนของก๊าซ สร้างอนุภาคน้อยมากหรือไม่มีเลย ขณะเดียวกันก็รับประกันลักษณะการไหลที่สม่ำเสมอตลอดการเปลี่ยนแปลงความร้อนและความดันที่ไม่สอดคล้องกัน การผลิตที่มีความแม่นยำช่วยให้มั่นใจได้ถึงกระบวนการที่มีการควบคุมอย่างเข้มงวด ทำซ้ำผลลัพธ์ที่เชื่อถือได้ และด้วยเหตุนี้ ประสิทธิภาพของอุปกรณ์จึงสม่ำเสมอ

Semicorex ผลิตหัวฉีดซิลิคอนตามสั่ง ซึ่งมีความยาว เส้นผ่านศูนย์กลาง และการกำหนดค่าหัวฉีดแบบกำหนดเอง โซลูชันที่ปรับแต่งสามารถพัฒนาได้เพื่อปรับปรุงรูปแบบการกระจายตัวของก๊าซสำหรับรูปทรงของเครื่องปฏิกรณ์แบบครั้งเดียวหรือสูตรการสะสม หัวฉีดแต่ละตัวได้รับการตรวจสอบและตรวจสอบความบริสุทธิ์เพื่อให้ได้เกรดเซมิคอนดักเตอร์ในระดับสูงสุดส่วนประกอบซิลิกอน.

Semicorex Silicon Injector ให้ความแม่นยำและความบริสุทธิ์ที่จำเป็นสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ในปัจจุบัน การผสมผสานซิลิกอนความบริสุทธิ์สูงพิเศษ 9N ความแม่นยำในการตัดเฉือนระดับไมครอน และความเสถียรทางความร้อนและเคมีสูง ช่วยให้การกระจายก๊าซสม่ำเสมอ การสร้างอนุภาคน้อยลง และความน่าเชื่อถือที่ยอดเยี่ยมเมื่อฝาก LPCVD โพลีซิลิคอน