แหวน Slotted Poly-Si

โดยทั่วไปแล้ววงแหวนเจาะรู Poly-Si จะถูกติดตั้งในห้องปฏิกิริยาของอุปกรณ์แกะสลักเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง พวกมันทำงานประสานกันกับชิ้นส่วนซิลิกอน รวมถึงซิลิกอนวงแหวนโฟกัส, วงแหวนรอบนอกของซิลิกอน และ ซิลิกอนฝักบัว. ชิ้นส่วนเหล่านี้สามารถสร้างสภาพแวดล้อมปฏิกิริยาที่เสถียรและเหมาะสมที่สุดสำหรับกระบวนการกัด ทำให้มั่นใจได้ถึงความเป็นเลิศการแกะสลักความแม่นยำและความสม่ำเสมอของกระบวนการ

ฟังก์ชั่นของวงแหวน slotted Semicorex poly-Si

1. วงแหวนเจาะรูแบบ Semicorex poly-Si มีช่องที่กระจายเท่าๆ กันหลายช่องซึ่งทำหน้าที่เป็นทางผ่านของก๊าซ ซึ่งช่วยให้ระบายก๊าซในกระบวนการได้อย่างราบรื่นหลังปฏิกิริยา

2. วงแหวนเจาะรู Semicorex poly-Si สามารถควบคุมพลาสมาได้ดีเยี่ยม โดยให้การป้องกันที่เชื่อถือได้สำหรับห้องปฏิกิริยาของอุปกรณ์แกะสลักเซมิคอนดักเตอร์

3. วงแหวนเจาะรู Semicorex poly-Si สามารถช่วยปรับสนามไฟฟ้าและความดันในห้องเพาะเลี้ยงได้ จึงป้องกันความไม่เสถียรจากผลกระทบต่อความสม่ำเสมอของกระบวนการกัด

การเลือกใช้วัสดุที่มีมาตรฐานสูง

แหวน slotted Semicorex poly-Si ผลิตจากซิลิคอนโพลีคริสตัลไลน์คุณภาพสูงที่มีระดับความบริสุทธิ์มากกว่า 99.9999% ซึ่งมีคุณสมบัติที่เหนือกว่าดังนี้

1. มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษและมีปริมาณสิ่งเจือปนต่ำมาก

2. ความต้านทานการกัดกร่อนของพลาสม่าที่ยอดเยี่ยม

3. คุณสมบัติทางไฟฟ้าที่ดี โดยมีความต้านทานสม่ำเสมอ: RRG ≤ 5% ความละเอียดต่ำ (<0.02) ความละเอียดกลาง (1–4) และความละเอียดสูง (70–90)

ความสามารถในการผลิตและการควบคุมคุณภาพ

ด้วยอุปกรณ์เครื่องจักรขั้นสูงและทีมงานด้านเทคนิคที่มีประสบการณ์ Semicorex ควบคุมแต่ละกระบวนการผลิตอย่างเข้มงวด และนำเสนอแหวน slotted poly-Si คุณภาพสูงและเข้ากันอย่างลงตัวแก่ลูกค้าอันทรงคุณค่าของเรา นอกจากนี้ Semicorex ยังควบคุมการวัดขนาด การทดสอบความต้านทาน และการตรวจสอบด้วยภาพบนวงแหวน slotted poly-Si ที่ทำเสร็จแล้วอย่างเข้มงวด เพื่อให้แน่ใจว่าปราศจากข้อบกพร่อง เช่น เศษ รอยขีดข่วน รอยแตก และคราบสกปรก