ในฐานะผู้ผลิตมืออาชีพ เราต้องการจัดหาส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์ให้กับคุณ Semicorex เป็นพันธมิตรของคุณในการปรับปรุงการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ การเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของเรามีความหนาแน่น อุณหภูมิสูง และทนต่อสารเคมี ซึ่งมักใช้ในวงจรการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทั้งหมด รวมถึงกระบวนการเวเฟอร์และเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ และการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ส่วนประกอบที่เคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อกระบวนการในเซมิคอนดักเตอร์ ข้อเสนอของเรามีตั้งแต่วัสดุสิ้นเปลืองกราไฟท์สำหรับโซนร้อนที่กำลังเติบโตของคริสตัล (เครื่องทำความร้อน ตัวรับเบ้าหลอม ฉนวน) ไปจนถึงส่วนประกอบกราไฟท์ที่มีความแม่นยำสูงสำหรับอุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์ เช่น ตัวรับกราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์สำหรับ Epitaxy หรือ MOCVD
ข้อดีสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์
ขั้นตอนการสะสมของฟิล์มบาง เช่น เอพิแทกซีหรือ MOCVD หรือกระบวนการจัดการเวเฟอร์ เช่น การกัดหรือการฝังไอออน จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดทางเคมีที่รุนแรง Semicorex มีโครงสร้างกราไฟท์เคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีความบริสุทธิ์สูง ให้ความต้านทานความร้อนที่เหนือกว่าและทนต่อสารเคมีที่ทนทาน แม้กระทั่งความสม่ำเสมอของความร้อนเพื่อความหนาและความต้านทานของชั้น epi ที่สม่ำเสมอ
ฝาปิดห้อง →
ฝาปิดห้องที่ใช้ในการเติบโตของคริสตัลและการประมวลผลการจัดการเวเฟอร์จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดสารเคมีที่รุนแรง
เอนด์เอฟเฟกต์ →
เอนด์เอฟเฟกต์คือมือของหุ่นยนต์ที่จะเคลื่อนเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ระหว่างตำแหน่งในอุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์และตัวพา
วงแหวนทางเข้า →
วงแหวนทางเข้าก๊าซเคลือบ SiC โดยอุปกรณ์ MOCVD การเจริญเติบโตแบบคอมพาวด์มีความต้านทานความร้อนและการกัดกร่อนสูง ซึ่งมีเสถียรภาพสูงในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง
วงแหวนปรับโฟกัส →
วัสดุ Semicorex วงแหวนโฟกัสเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์มีความเสถียรมากสำหรับ RTA, RTP หรือการทำความสะอาดด้วยสารเคมีที่รุนแรง
เวเฟอร์ชัค →
หัวจับเวเฟอร์เซรามิกสูญญากาศแบบแบนพิเศษ Semicorex มีการเคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงโดยใช้ในกระบวนการจัดการเวเฟอร์
Semicorex Silicon Pedestal Boat คือตัวพาเวเฟอร์ที่มีความบริสุทธิ์สูงพิเศษ 9N ซึ่งได้รับการออกแบบมาเพื่อรองรับเวเฟอร์ที่แม่นยำและเสถียรในกระบวนการออกซิเดชัน การแพร่กระจาย และ LPCVD ที่อุณหภูมิสูง เลือก Semicorex เพื่อความบริสุทธิ์ของวัสดุที่ไม่มีใครเทียบได้ การตัดเฉือนที่แม่นยำ และความน่าเชื่อถือที่ได้รับการพิสูจน์แล้ว*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex Silicon Injector เป็นส่วนประกอบแบบท่อที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษซึ่งออกแบบมาเพื่อการส่งก๊าซที่แม่นยำและปราศจากการปนเปื้อนในกระบวนการสะสมโพลีซิลิคอน LPCVD เลือก Semicorex เพื่อความบริสุทธิ์ชั้นนำของอุตสาหกรรม การตัดเฉือนที่แม่นยำ และความน่าเชื่อถือที่ได้รับการพิสูจน์แล้ว*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex Silicon Wafer Boat คือตัวพาที่มีความบริสุทธิ์สูง ออกแบบมาสำหรับเตาเผาแบบเซมิคอนดักเตอร์ที่มีอุณหภูมิสูง ซึ่งรองรับเวเฟอร์ในระหว่างกระบวนการออกซิเดชันและรีดักชันที่อุณหภูมิ 1200–1250 °C Semicorex มอบผลิตภัณฑ์ที่เหนือกว่า ประสิทธิภาพที่สะอาดเป็นพิเศษ และผลลัพธ์ที่เชื่อถือได้ซึ่งช่วยเพิ่มผลผลิตของอุปกรณ์โดยตรง*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามแหวนป้องกันซิลิคอน Semicorex เป็นส่วนประกอบซิลิคอนที่มีความบริสุทธิ์สูงซึ่งได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมสำหรับระบบการกัดพลาสม่าขั้นสูง โดยทำหน้าที่เป็นทั้งเกราะป้องกันและอิเล็กโทรดเสริม Semicorex รับประกันประสิทธิภาพที่สะอาดเป็นพิเศษ ความเสถียรของกระบวนการ และผลลัพธ์การกัดที่เหนือกว่าด้วยส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์ที่ออกแบบทางวิศวกรรมอย่างแม่นยำ*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex SiC Ceramic Paddle เป็นส่วนประกอบคานยื่นที่มีความบริสุทธิ์สูง ออกแบบมาสำหรับเตาเผาที่มีอุณหภูมิสูงแบบเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งส่วนใหญ่ใช้ในกระบวนการออกซิเดชันและการแพร่กระจาย การเลือก Semicorex หมายถึงการเข้าถึงโซลูชันเซรามิกขั้นสูงที่ให้ความเสถียร ความสะอาด และความทนทานเป็นพิเศษสำหรับการใช้งานในการจัดการเวเฟอร์ที่สำคัญ*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามชิ้นส่วน Halfmoon ที่เคลือบ Semicorex SiC เป็นส่วนประกอบที่ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมอย่างแม่นยำ ซึ่งได้รับการออกแบบให้เป็นองค์ประกอบสำคัญของอุปกรณ์ epitaxial โดยที่ส่วนที่มีรูปร่างเป็นรูปพระจันทร์ครึ่งเสี้ยวสองส่วนรวมกันเป็นส่วนประกอบหลักที่สมบูรณ์ การเลือก Semicorex หมายถึงการรักษาความปลอดภัยโซลูชันที่เชื่อถือได้ มีความบริสุทธิ์สูง และทนทาน ซึ่งรับประกันการรองรับแผ่นเวเฟอร์ที่มีความเสถียรและการนำความร้อนที่มีประสิทธิภาพสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม