แหวนแกะสลักซิลิคอน

วงแหวนกัดกรดซิลิคอนเป็นส่วนประกอบสำคัญภายในห้องกัดกรดพลาสม่าของอุปกรณ์กัดกัด CCP/ICP และโดยทั่วไปจะวางไว้รอบๆ แผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ หน้าที่หลักคือการรองรับเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ รักษาการกระจายตัวของพลาสมาสม่ำเสมอ ปกป้องขอบเวเฟอร์ และช่วยสร้างสภาวะการทำงานที่เหมาะสมที่สุดสำหรับกระบวนการกัดพลาสมา

ข้อดีของแหวนแกะสลักซิลิโคน Semicorex

1. คัดสรรวัสดุระดับพรีเมี่ยม

แหวนแกะสลักซิลิโคน Semicorex ผลิตจาก MCZ ที่มีความบริสุทธิ์สูงที่คัดสรรมาอย่างดีซิลิคอนโมโนคริสตัลไลน์ซึ่งมีคุณสมบัติที่เหนือกว่าซิลิคอนโมโนคริสตัลไลน์ CZ ทั่วไปดังต่อไปนี้

มีความบริสุทธิ์สูง: ความบริสุทธิ์มากกว่า 99.9999999% ซึ่งหมายความว่าแหวนกัดซิลิกอน Semicorex แทบไม่มีสิ่งเจือปนเลย ความบริสุทธิ์สูงพิเศษนี้สามารถหลีกเลี่ยงการรบกวนจากส่วนประกอบเจือปนในระหว่างกระบวนการกัดได้อย่างมีประสิทธิภาพ จึงรับประกันความแม่นยำในการกัดสูง

โครงสร้างที่มั่นคง: ซิลิคอนโมโนคริสตัลไลน์ MCZ มีโครงสร้างคริสตัลที่เหนือกว่าและมีข้อบกพร่องต่ำกว่าซิลิคอนโมโนคริสตัลไลน์ CZ ทั่วไป โครงสร้างผลึกที่มีความเสถียรนี้ทำให้วงแหวนแกะสลักซิลิกอน Semicorex เพิ่มความต้านทานการกัดกร่อนต่อการกัดกร่อนของพลาสมา และช่วยให้วงแหวนเหล่านี้ทนทานต่อสภาวะการทำงานที่มีการกัดเซาะที่รุนแรง

ความสม่ำเสมอของความต้านทานที่ดีเยี่ยม:แหวนแกะสลักซิลิโคน Semicorexให้ความสม่ำเสมอของความต้านทานที่ยอดเยี่ยมด้วย RRG < 5% ความละเอียดต่ำ (<0.02 Ω·cm) ความละเอียดกลาง (0.2–25 Ω·cm) ความละเอียดสูง (>100 Ω·ซม.) ความสม่ำเสมอของความต้านทานที่ดีเยี่ยมนี้สามารถลดการกระจายของพลาสม่าที่ไม่สม่ำเสมอซึ่งเกิดจากความต้านทานสูงหรือต่ำมากเกินไป ซึ่งก่อให้เกิดสนามไฟฟ้าในอุดมคติสำหรับการกัดพลาสมาที่มีความแม่นยำสูง

2. การประมวลผลที่แม่นยำและการตรวจสอบคุณภาพอย่างเข้มงวด

Semicorex มีทีมงานด้านเทคนิคที่มีประสบการณ์ซึ่งสามารถให้การปรับแต่งส่วนบุคคลและการประเมินทางเทคนิคสำหรับลูกค้าที่มีค่าของเราและยังได้กำหนดขั้นตอนการประมวลผลและการตรวจสอบอย่างเป็นระบบเพื่อรับประกันคุณภาพของผลิตภัณฑ์

บริการปรับแต่งที่ยืดหยุ่น: Semicorex รองรับการปรับแต่งตามแบบของลูกค้า และเส้นผ่านศูนย์กลางสูงสุดของวงแหวนแกะสลักซิลิกอนสามารถมีได้ถึง 470 มม.

การรักษาพื้นผิวที่ได้มาตรฐานสูง: สามารถควบคุมความแม่นยำในการขัดอย่างเข้มงวดภายใน Ra < 0.1 µm และการเจียรแบบละเอียดจะทำให้ได้ผิวสำเร็จที่ Ra > 0.1 µm

การตรวจสอบคุณภาพอย่างเข้มงวด: การวัดขนาด การทดสอบความต้านทาน และการตรวจสอบด้วยภาพจะดำเนินการเพื่อให้แน่ใจว่าวงแหวนแกะสลักซิลิกอนปราศจากเศษ รอยขีดข่วน รอยแตก คราบ และข้อบกพร่องอื่น ๆ