ในฐานะผู้ผลิตมืออาชีพ เราต้องการจัดหาส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์ให้กับคุณ Semicorex เป็นพันธมิตรของคุณในการปรับปรุงการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ การเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของเรามีความหนาแน่น อุณหภูมิสูง และทนต่อสารเคมี ซึ่งมักใช้ในวงจรการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทั้งหมด รวมถึงกระบวนการเวเฟอร์และเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ และการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ส่วนประกอบที่เคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อกระบวนการในเซมิคอนดักเตอร์ ข้อเสนอของเรามีตั้งแต่วัสดุสิ้นเปลืองกราไฟท์สำหรับโซนร้อนที่กำลังเติบโตของคริสตัล (เครื่องทำความร้อน ตัวรับเบ้าหลอม ฉนวน) ไปจนถึงส่วนประกอบกราไฟท์ที่มีความแม่นยำสูงสำหรับอุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์ เช่น ตัวรับกราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์สำหรับ Epitaxy หรือ MOCVD
ข้อดีสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์
ขั้นตอนการสะสมของฟิล์มบาง เช่น เอพิแทกซีหรือ MOCVD หรือกระบวนการจัดการเวเฟอร์ เช่น การกัดหรือการฝังไอออน จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดทางเคมีที่รุนแรง Semicorex มีโครงสร้างกราไฟท์เคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีความบริสุทธิ์สูง ให้ความต้านทานความร้อนที่เหนือกว่าและทนต่อสารเคมีที่ทนทาน แม้กระทั่งความสม่ำเสมอของความร้อนเพื่อความหนาและความต้านทานของชั้น epi ที่สม่ำเสมอ
ฝาปิดห้อง →
ฝาปิดห้องที่ใช้ในการเติบโตของคริสตัลและการประมวลผลการจัดการเวเฟอร์จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดสารเคมีที่รุนแรง
เอนด์เอฟเฟกต์ →
เอนด์เอฟเฟกต์คือมือของหุ่นยนต์ที่จะเคลื่อนเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ระหว่างตำแหน่งในอุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์และตัวพา
วงแหวนทางเข้า →
วงแหวนทางเข้าก๊าซเคลือบ SiC โดยอุปกรณ์ MOCVD การเจริญเติบโตแบบคอมพาวด์มีความต้านทานความร้อนและการกัดกร่อนสูง ซึ่งมีเสถียรภาพสูงในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง
วงแหวนปรับโฟกัส →
วัสดุ Semicorex วงแหวนโฟกัสเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์มีความเสถียรมากสำหรับ RTA, RTP หรือการทำความสะอาดด้วยสารเคมีที่รุนแรง
เวเฟอร์ชัค →
หัวจับเวเฟอร์เซรามิกสูญญากาศแบบแบนพิเศษ Semicorex มีการเคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงโดยใช้ในกระบวนการจัดการเวเฟอร์
Semicorex SiC Heating Filament เป็นเครื่องทำความร้อนกราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ ออกแบบมาเพื่อให้ความร้อนกับแผ่นเวเฟอร์ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง การเลือก Semicorex หมายถึงการเลือกพันธมิตรที่เชื่อถือได้ซึ่งส่งมอบวัสดุที่มีความบริสุทธิ์สูง การปรับแต่งที่แม่นยำ และประสิทธิภาพที่ยาวนานสำหรับกระบวนการระบายความร้อนที่มีความต้องการมากที่สุด*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามหัวจับซิลิคอนคาร์ไบด์ Semicorex ได้รับการออกแบบเป็นพิเศษสำหรับอุปกรณ์การพิมพ์หินด้วยแสงและมีข้อดีหลายประการ เช่น ความแม่นยำสูง น้ำหนักเบาเป็นพิเศษ ความแข็งสูง ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวจากความร้อนต่ำ และความต้านทานการสึกหรอที่ดีเยี่ยม
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามท่อ Semicorex SiC Furnace เป็นท่อซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงที่ผลิตโดยเทคโนโลยีการพิมพ์ 3 มิติขั้นสูง ซึ่งออกแบบมาสำหรับกระบวนการไฟฟ้าโซลาร์เซลล์ที่อุณหภูมิสูง Semicorex นำเสนอโซลูชัน SiC ที่ล้ำสมัยด้วยความแข็งแกร่ง ความเสถียร และความน่าเชื่อถือที่เหนือกว่าที่ได้รับความไว้วางใจจากอุตสาหกรรมพลังงานแสงอาทิตย์ทั่วโลก*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex SiC Paddles เป็นแขนยื่นซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูง ออกแบบมาสำหรับการขนส่งแผ่นเวเฟอร์ในเตาออกซิเดชันและการแพร่กระจายที่อุณหภูมิสูงกว่า 1000°C การเลือก Semicorex หมายถึงการรับประกันคุณภาพวัสดุที่ยอดเยี่ยม วิศวกรรมที่มีความแม่นยำ และความน่าเชื่อถือในระยะยาวที่ได้รับความไว้วางใจจากโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ชั้นนำ*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex Wafer Glinding Chuck เป็นดิสก์เซรามิกที่ทำจากอลูมินาสีขาวที่มีความบริสุทธิ์สูงออกแบบมาสำหรับการบดขอบเวเฟอร์ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การเลือก Semicorex ทำให้มั่นใจได้ถึงคุณภาพของวัสดุที่เหนือกว่าวิศวกรรมที่แม่นยำและประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้ซึ่งรองรับสภาพแวดล้อมการประมวลผลเวเฟอร์ที่ต้องการมากที่สุด*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม