จีน ส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์ ผู้ผลิต ผู้จำหน่าย โรงงาน

ในฐานะผู้ผลิตมืออาชีพ เราต้องการจัดหาส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์ให้กับคุณ Semicorex เป็นพันธมิตรของคุณในการปรับปรุงการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ การเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของเรามีความหนาแน่น อุณหภูมิสูง และทนต่อสารเคมี ซึ่งมักใช้ในวงจรการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทั้งหมด รวมถึงกระบวนการเวเฟอร์และเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ และการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ส่วนประกอบที่เคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อกระบวนการในเซมิคอนดักเตอร์ ข้อเสนอของเรามีตั้งแต่วัสดุสิ้นเปลืองกราไฟท์สำหรับโซนร้อนที่กำลังเติบโตของคริสตัล (เครื่องทำความร้อน ตัวรับเบ้าหลอม ฉนวน) ไปจนถึงส่วนประกอบกราไฟท์ที่มีความแม่นยำสูงสำหรับอุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์ เช่น ตัวรับกราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์สำหรับ Epitaxy หรือ MOCVD

ข้อดีสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์

ขั้นตอนการสะสมของฟิล์มบาง เช่น เอพิแทกซีหรือ MOCVD หรือกระบวนการจัดการเวเฟอร์ เช่น การกัดหรือการฝังไอออน จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดทางเคมีที่รุนแรง Semicorex มีโครงสร้างกราไฟท์เคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีความบริสุทธิ์สูง ให้ความต้านทานความร้อนที่เหนือกว่าและทนต่อสารเคมีที่ทนทาน แม้กระทั่งความสม่ำเสมอของความร้อนเพื่อความหนาและความต้านทานของชั้น epi ที่สม่ำเสมอ

ฝาปิดห้อง →
ฝาปิดห้องที่ใช้ในการเติบโตของคริสตัลและการประมวลผลการจัดการเวเฟอร์จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดสารเคมีที่รุนแรง

เอนด์เอฟเฟกต์ →
เอนด์เอฟเฟกต์คือมือของหุ่นยนต์ที่จะเคลื่อนเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ระหว่างตำแหน่งในอุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์และตัวพา

วงแหวนทางเข้า →
วงแหวนทางเข้าก๊าซเคลือบ SiC โดยอุปกรณ์ MOCVD การเจริญเติบโตแบบคอมพาวด์มีความต้านทานความร้อนและการกัดกร่อนสูง ซึ่งมีเสถียรภาพสูงในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง

วงแหวนปรับโฟกัส →
วัสดุ Semicorex วงแหวนโฟกัสเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์มีความเสถียรมากสำหรับ RTA, RTP หรือการทำความสะอาดด้วยสารเคมีที่รุนแรง

เวเฟอร์ชัค →
หัวจับเวเฟอร์เซรามิกสูญญากาศแบบแบนพิเศษ Semicorex มีการเคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงโดยใช้ในกระบวนการจัดการเวเฟอร์