Semicorex เป็นพันธมิตรของคุณในการปรับปรุงการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ การเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของเรามีความหนาแน่น อุณหภูมิสูง และทนต่อสารเคมี ซึ่งมักใช้ในวงจรการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทั้งหมด รวมถึงกระบวนการเวเฟอร์และเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ และการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ส่วนประกอบเซรามิก SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อกระบวนการในเซมิคอนดักเตอร์ ข้อเสนอของเรามีตั้งแต่ชิ้นส่วนสิ้นเปลืองสำหรับอุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์ เช่น เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ ไม้พายคานยื่น ท่อ ฯลฯ สำหรับ Epitaxy หรือ MOCVD
ข้อดีสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์
ขั้นตอนการสะสมของฟิล์มบาง เช่น เอพิแทกซีหรือ MOCVD หรือกระบวนการจัดการเวเฟอร์ เช่น การกัดหรือการฝังไอออน จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดทางเคมีที่รุนแรง Semicorex มีโครงสร้างซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีความบริสุทธิ์สูง ให้ความต้านทานความร้อนที่เหนือกว่าและทนต่อสารเคมีที่ทนทาน แม้กระทั่งความสม่ำเสมอทางความร้อนเพื่อความหนาและความต้านทานของชั้น epi ที่สม่ำเสมอ
ฝาปิดห้อง →
ฝาห้องที่ใช้ในการเติบโตของคริสตัลและการประมวลผลการจัดการเวเฟอร์จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดสารเคมีที่รุนแรง
ไม้พายคานยื่น →
Cantilever Paddle เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในเตาหลอมแบบแพร่กระจายหรือ LPCVD ในระหว่างกระบวนการต่างๆ เช่น การแพร่และ RTP
หลอดกระบวนการ →
Process Tube เป็นส่วนประกอบที่สำคัญ ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะในการใช้งานการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ เช่น RTP หรือการแพร่กระจาย
เรือเวเฟอร์ →
เรือเวเฟอร์ถูกนำมาใช้ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ โดยได้รับการออกแบบอย่างพิถีพิถันเพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์ที่ละเอียดอ่อนจะถูกเก็บไว้อย่างปลอดภัยในระหว่างขั้นตอนการผลิตที่สำคัญ
วงแหวนทางเข้า →
วงแหวนทางเข้าก๊าซเคลือบ SiC โดยอุปกรณ์ MOCVD การเจริญเติบโตแบบคอมพาวด์มีความต้านทานความร้อนและการกัดกร่อนสูง ซึ่งมีเสถียรภาพสูงในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง
วงแหวนปรับโฟกัส →
วัสดุ Semicorex วงแหวนโฟกัสเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์มีความเสถียรมากสำหรับ RTA, RTP หรือการทำความสะอาดด้วยสารเคมีที่รุนแรง
เวเฟอร์ชัค →
หัวจับเวเฟอร์เซรามิกสูญญากาศแบบแบนพิเศษ Semicorex มีการเคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงโดยใช้ในกระบวนการจัดการเวเฟอร์
Semicorex ยังมีผลิตภัณฑ์เซรามิก ได้แก่ Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic เป็นต้น
Semicorex Silicon Carbide Boat เป็นส่วนประกอบประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาเพื่อใช้ในกระบวนการแพร่กระจายเซมิคอนดักเตอร์ โดยมีเสถียรภาพทางความร้อน ทนต่อการสึกหรอ และความทนทานต่อสารเคมีเป็นเลิศ เลือก Semicorex สำหรับความสามารถในการผลิตขั้นสูง ส่งมอบผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงที่เชื่อถือได้ ซึ่งรับประกันประสิทธิภาพสูงสุดในการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์และอุตสาหกรรมที่มีความต้องการสูง*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex ให้ความสำคัญกับคุณภาพและประสิทธิภาพ เพื่อให้มั่นใจว่าปะเก็น SiC แต่ละรายการตรงตามมาตรฐานอุตสาหกรรมที่เข้มงวด กระบวนการผลิตที่ล้ำสมัยของเรารับประกันว่าผลิตภัณฑ์ของเราให้ผลลัพธ์ที่สม่ำเสมอและเชื่อถือได้ ทำให้ Semicorex เป็นผู้นำในด้านเซรามิกขั้นสูง
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามวัสดุเจียร Semicorex SiC ผลิตจากเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ ซึ่งเป็นวัสดุที่มีชื่อเสียงในด้านความแข็งและความทนทานเป็นพิเศษ ออกแบบมาเพื่อตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของการใช้งานในอุตสาหกรรมต่างๆ SiC Grinding Media นำเสนอประสิทธิภาพและอายุการใช้งานที่ไม่มีใครเทียบได้
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex SiC Boat ขนาด 6 นิ้วเป็นตัวพาเวเฟอร์ประสิทธิภาพสูงที่ทำจากซิลิคอนคาร์ไบด์ ออกแบบมาเพื่อใช้ในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์อุณหภูมิสูง เช่น ออกซิเดชันและการแพร่กระจาย Semicorex นำเสนอผลิตภัณฑ์คุณภาพที่เหนือกว่าโดยมีเสถียรภาพทางความร้อนเป็นพิเศษ ทนต่อสารเคมีได้ดีเยี่ยม และมุ่งมั่นที่จะมอบประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้และยาวนานในการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความต้องการสูง*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex Vertical Silicon Boat เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ Semicorex นำเสนอเรือซิลิคอนแนวตั้งที่ปรับแต่งตามความต้องการด้วยคุณภาพและความแม่นยำที่เหนือชั้น ออกแบบมาเพื่อตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามแหวนซีล Si3N4 จาก Semicorex แสดงถึงความก้าวหน้าที่สำคัญในด้านวิศวกรรมเซรามิก ซึ่งสร้างขึ้นจาก Si3N4 ซึ่งเป็นวัสดุอนินทรีย์ที่ยอดเยี่ยม เซรามิกนี้มีชื่อเสียงในด้านคุณสมบัติพิเศษที่ไม่หดตัวในระหว่างกระบวนการเผาผนึก ทำให้มั่นใจได้ถึงความเสถียรและความสม่ำเสมอของมิติ
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม