อิเล็กโทรดโค้งซิลิคอน

ในระหว่างการใช้อุปกรณ์กัดกรดขั้นสูง อิเล็กโทรดแบบโค้งซิลิกอนมักจะติดตั้งที่ด้านบนของห้องกัดกรด โดยหันหน้าไปทางแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ โดยทั่วไปอิเล็กโทรดแบบโค้งซิลิคอนจะทำงานร่วมกับหัวจับไฟฟ้าสถิต วงแหวนโฟกัส Si วงแหวนขอบ Si วงแหวนไอเสีย Si และวงแหวนป้องกัน Si เพื่อให้สภาวะการทำงานที่เหมาะสมที่สุดสำหรับการแกะสลักที่มีความแม่นยำสูง

หน้าที่ของอิเล็กโทรดโค้งซิลิคอน Semicorex

1. เข้ากันได้กับการแกะสลักโครงสร้าง 3D ที่ซับซ้อน

ด้วยความสามารถในการควบคุมสนามไฟฟ้า 3D ที่ยอดเยี่ยม Semicorexอิเล็กโทรดโค้งซิลิคอนสามารถจับคู่ลักษณะทางเรขาคณิตของโครงสร้างที่ซับซ้อนได้อย่างสมบูรณ์แบบ การออกแบบโค้งพิเศษช่วยให้สามารถควบคุมพลาสมาได้อย่างแม่นยำและกระจายพลังงานได้อย่างเหมาะสม ซึ่งส่งผลกระทบอย่างมีนัยสำคัญต่ออัตราส่วนภาพและแนวตั้งของผนังด้านข้างของการกัดโครงสร้าง 3 มิติ และตรงตามข้อกำหนดสายการผลิตของกระบวนการบรรจุภัณฑ์ขั้นสูงและการบูรณาการ 3D IC อย่างสมบูรณ์

2. การควบคุมการกระจายก๊าซ Etch อย่างแม่นยำ

อิเล็กโทรดแบบโค้งซิลิคอน Semicorex มีรูขนาดเล็กที่กระจายสม่ำเสมอหลายรูบนพื้นผิวเพื่อให้ก๊าซกัดกร่อนเข้าสู่ห้องกัด อิเล็กโทรดโค้งซิลิคอน Semicorex สามารถควบคุมก๊าซกัดกร่อนได้อย่างแม่นยำ และช่วยให้กระจายก๊าซอย่างสม่ำเสมอในห้องกัดกร่อน ดังนั้นจึงลดความแปรผันของกระบวนการที่เกิดจากการกระจายก๊าซไม่สม่ำเสมอ

ข้อดีของอิเล็กโทรดโค้งแบบซิลิคอน Semicorex

1. ความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ

อิเล็กโทรดแบบโค้งซิลิคอน Semicorex ผลิตจากผลึกเดี่ยวที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษซิลิคอนด้วยระดับความบริสุทธิ์สูงกว่า 99.9999999% ให้ความต้านทานต่อการกัดเซาะของพลาสมาได้เหนือกว่า การเลือกใช้วัสดุที่มีมาตรฐานสูงนี้สามารถหลีกเลี่ยงการปนเปื้อนที่ไม่พึงประสงค์อันเป็นผลพลอยได้จากการกัดกร่อนได้อย่างมีประสิทธิภาพ ขณะเดียวกันก็ช่วยยืดอายุการใช้งานของอิเล็กโทรดแบบโค้งซิลิคอนได้อย่างมาก

2. คุณสมบัติทางไฟฟ้าที่ดีเยี่ยม

อิเล็กโทรดโค้งซิลิคอน Semicorex ผลิตจากซิลิคอนผลึกเดี่ยวที่ปลูกโดย MCZ มีความสม่ำเสมอของความต้านทานที่ยอดเยี่ยม: ＜5% และช่วงความต้านทานที่เลือกได้กว้าง: ความละเอียดต่ำ (<0.02) ความละเอียดกลาง (1–4) และความละเอียดสูง (70–90)

3. ความแม่นยำในการประมวลผลที่แม่นยำ

ด้วยการประมวลผลทางกลที่มีความแม่นยำสูง อิเล็กโทรดโค้งแบบซิลิคอน Semicorex จึงมีรูพรุนที่สม่ำเสมอและการกระจายรูที่สม่ำเสมอ พื้นผิวของมันได้รับการขัดเงาอย่างประณีตและกราวด์: ขัดเงา (Ra < 0.1 μm) และกราวด์ (Ra < 1.6 μm) โดยมีการควบคุมความแม่นยำในการตัดโดยรวมภายใน 0.03 มม.