หัวฝักบัวซิลิโคนคริสตัลเดี่ยว

ซิลิคอนผลึกเดี่ยว Semicorexฝักบัวแสดงให้เห็นความต้านทานการกัดกร่อนที่ยอดเยี่ยม ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวต่ำ และการนำความร้อนที่ดีเยี่ยม ปรับตัวอย่างทนทานต่อสภาวะที่รุนแรง เช่น อุณหภูมิสูง มีการกัดกร่อนสูง และสุญญากาศสูงในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ มีความทนทานเป็นพิเศษต่อการประมวลผลก๊าซ เช่น ก๊าซกัดกร่อนและการสะสม ดังนั้น หัวฝักบัวซิลิคอนผลึกเดี่ยวจึงถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการทำความสะอาดเซมิคอนดักเตอร์ กระบวนการออกซิเดชัน กระบวนการสะสม และกระบวนการแกะสลัก

Semicorex ใช้เทคนิคการรักษาพื้นผิวขั้นสูงเพื่อให้แน่ใจว่าพื้นผิวของหัวฝักบัวซิลิคอนผลึกเดี่ยวมีทั้งความเรียบและความเรียบเนียนที่สูงมาก ในขณะเดียวกัน ขึ้นอยู่กับการออกแบบมาตรฐานของโครงสร้างช่องทางและทางเดินก๊าซ พื้นผิวของหัวฝักบัวซิลิคอนผลึกเดี่ยวมีการกระจายอย่างสม่ำเสมอโดยมีรูพรุนจำนวนมากที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางเท่ากัน (เส้นผ่านศูนย์กลางขั้นต่ำสามารถเข้าถึง 0.2 มิลลิเมตร) ความทนทานต่อเส้นผ่านศูนย์กลางรูพรุนของหัวฝักบัวซิลิคอนผลึกเดี่ยวได้รับการควบคุมอย่างแม่นยำที่ระดับไมโครมิเตอร์ และผนังด้านในของรูพรุนจะต้องเรียบและไม่มีเสี้ยน เพื่อให้มั่นใจในความแม่นยำในการกระจายและความสม่ำเสมอของก๊าซในกระบวนการจากด้านโครงสร้างและกระบวนการ

Semicorex ให้บริการปรับแต่งโดยผู้เชี่ยวชาญเพื่อตอบสนองความต้องการของลูกค้าที่หลากหลาย ตามความต้องการที่หลากหลายของลูกค้า บริษัทสามารถปรับแต่งโซลูชันรูปลักษณ์ให้เหมาะสมกับขนาดและรูปแบบของห้องปฏิกิริยาได้ การออกแบบที่ดีที่สุดช่วยให้เวเฟอร์สัมผัสกับก๊าซในกระบวนการได้อย่างสมบูรณ์และสม่ำเสมอตลอดกระบวนการทำปฏิกิริยา โดยรับประกันว่าก๊าซจะกระจายอย่างเท่าเทียมกันทั่วทั้งห้องปฏิกิริยา ซึ่งจะช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตและคุณภาพของผลิตภัณฑ์ในที่สุด